Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР) совместно с промышленным партнером – ЗАО «НПФ «Микран» планируют до конца 2015 года вложить в модернизацию научно-образовательного центра «Нанотехнологии» ТУСУР порядка 100 млн. рублей. На базе НОЦ «Нанотехнологии» университет планирует создать центр превосходства в области СВЧ-наноэлектроники.

Средства будут направлены на оборудование в НОЦ «Нанотехнологии» нового участка – высокопроизводительной фотолитографии, который необходим для повышения производительности технологической линии НОЦ ТУСУР и развития специализации «Наногетероструктурная электроника СВЧ».

В настоящее время в ТУСУР производится необходимая реконструкция помещений, которые до конца 2015 года будут оснащены необходимым оборудованием для поддержания специального климата и обеспечения заданного класса частоты, и где в последующем будет размещена установка проекционной литографии – необходимая в технологической линии производства интегральных микросхем нового поколения. Запустить участок планируется в первом квартале 2016 года.

По словам представителей НОЦ «Нанотехнологии» ТУСУР, в центре, открытом в 2009 году, действуют несколько участков: технологический участок, где разрабатываются и производятся опытные образцы сверхвысокочастотных (СВЧ) монолитных интегральных схем, и участок измерений, оснащенный комплексом высокоточного оборудования для измерения параметров интегральных схем. Подчеркивается, что опытные образцы используются заказчиками и партнерами НОЦ «Нанотехнологии».

В частности, в НОЦ решаются перспективные задачи мирового уровня в рамках комплексных проектов по постановлению Правительства РФ № 218, которые ТУСУР выполняет совместно с промышленными партнерами: ЗАО «НПФ «Микран» (г. Томск), АО «Информационные спутниковые системы» имени академика М.Ф. Решетнева» (г. Железногорск). Кроме того, в центре специалисты ТУСУР и НПФ «Микран» занимаются перспективной разработкой технологии изготовления силового нитрид-галлиевого транзистора с медной металлизацией. Данная разработка, не имеющая российских аналогов, в 2015 году вошла в число победителей конкурса «Зелёный чип» за лучшее энергоэффективное решение в микроэлектронике.

Основная задача НОЦ «Нанотехнологии» ТУСУР – это создание конкурентоспособной импортозамещающей элементной базы для электронной промышленности, отраслей связи и телекоммуникаций. Также специалисты вузовского центра (большинство из которых – выпускники ТУСУР) принимают активное участие в формировании профессиональных стандартов в области наноэлектроники, на базе центра реализуются уникальные образовательные программы подготовки и переподготовки специалистов для российских электронных компаний, осваивающих новые технологии или планирующих их внедрение.