МИНИЛАБ – 6: Аналитическая система для исследования наноструктур

Рентгеновская рефлектометрия широко используется в современной науке и технологии для диагностики сверхгладких пленок нанометровой толщины – определения толщины слоев и шероховатости поверхностей, периода многослойных наноструктур и плотности поверхностных слоев. Рентгеновский рефлектометр «МиниЛаб-6», изготовленный Институтом рентгеновской оптики (ООО «ИРО»), является в настоящее время наиболее мощным прибором в своей области благодаря его уникальной конструкции, обеспечивающей возможность одновременных измерений на нескольких длинах волн. Рентгеновский рефлектометр разработан специально для изучения тонких пленок, их поверхностей и переходных слоев. Но благодаря гибкой схеме на приборе могут выполняться стандартные рентгеновские измерения

Рентгеновский рефлектометр Института рентгеновской оптики основан на последних разработках в области полупрозрачных монохроматоров, поликапиллярной оптике Кумахова и уникальной запатентованной конструкции. Мы представляем настоящую Минилабораторию с не имеющей аналогов комбинацией аналитических возможностей.

Комплекс рентгеновских измерительных систем

5 основных методик:

• Рефлектометрия
• Дифрактометрия
• Рефрактометрия
• Малоугловое рассеяние
• Рентгено-флуоресцентный анализ

Попробуйте и воспользуйтесь преимуществами одновременных измерений на нескольких длинах волн.

Технические характеристики

Определяемые параметры:

• Поверхностная и межслоевая шероховатости (до 0.05 нм)

¨ Толщины тонких слоев (1 – 300 нм)

¨ Период структуры (от 0.1 нм)

¨ Плотность поверхностного слоя

¨ Радиус и концентрация наночастиц

¨ Состав слоев

¨ Радиус кривизны (вплоть до 300 м)

¨ Период многослойных структур

Программное обеспечение для:

◊ системы управления прибором

◊ тестовой системы

◊ обработки данных рефлектометрии и рефрактометрии

◊ база данных по параметрам кристаллической решетки (по дополнительному запросу)

• Гониометр:

Минимальный угловой шаг – 0.00020 (0.7”)

Угловой диапазон – 1450 (2q – ось детектора);  – 1800 ( w – ось образца)

Линейное перемещение образца – диапазон 100 мм, шаг 2.5 мкм

• Максимальный диаметр образца – 200 мм

Питание рентгеновской трубки:

Диапазон регулирования анодного напряжения –10–45 kV

Максимальная мощность – 300 Вт (500 Вт по дополнительному запросу)

Стабилизация мощности – 0,01%

Замкнутая система охлаждения дистиллированной водой

Детектирующая система:

◊ 3 сцинтилляционных канала

◊ Si энергодисперсионный детектор с системой охлаждения Пельтье

Размеры, мм (длина x ширина x высота):

◊ Рефлектометр с опорной плитой – 1100 х 690 х 450

◊ Рабочий стол – 1200 ´ 700 ´ 780

◊ Прибор в защитном кожухе – 1230 ´ 980 ´ 1240

Вес системы, кг:

◊ Рефлектометр с опорной плитой– 35

◊ Прибор в защитном кожухе – 135

Новая запатентованная рентгено – оптическая схема рентгеновской минилаборатории…

http://www.xrayoptic.ru/minilab_6.htm