В создании нанодатчиков поможет НАНОФАБ 100

Разработанная с помощью многофункционального НТК НАНОФАБ 100 технология выращивания упорядоченных массивов нанотрубок была отмечена Серебряной медалью IX Московского международного салона инноваций и инвестиций, сообщает пресс-служба ЗАО «НТ-МДТ»

.

Организованный Министерством образования и науки Российской Федерации Салон инноваций и инвестиций является крупнейшим в России научно-техническим форумом разработчиков и производителей высокотехнологичной продукции. Профессиональный международный экспертный совет Салона рассмотрел 750 заявок, представленных на конкурс инновационных разработок. Технология выращивания упорядоченных массивов углеродных нанотрубок, разработанная под руководством проф. Б. Г. Коноплёва и проф. О. А. Агеева (ТТИ ЮФУ), была отмечена Серебряной медалью Салона.

.

По словам д. т. н. проф. О. А. Агеева, заведующего кафедрой «Технологии микро- и наноэлектронной аппаратуры», создание технологии стало возможным благодаря оборудованию компании НТ-МДТ:

• «В прошлом году, когда мы открыли свой НОЦ „Нанотехнологии“, его ядром стал нанотехнологический комплекс НАНОФАБ 100. Многофункциональность этого комплекса помогла исследовать многоступенчатый технологический процесс формирования массивов УНТ. Такие массивы вертикально ориентированных нанотрубок являются тем самым чувствительным элементом, необходимым для изготовления газовых наносенсоров».

Организация производства подобных датчиков открывает широчайшие возможности в таких областях применения как биология, медицина, оборонная промышленность, безопасность, экология и т. п.

• Применение НАНОФАБОВ не ограничивается исследованиями и изготовлением элементов наноэлектроники. В перспективе модели этой платформы наверняка будут использовать для создания новых материалов, метрологии и исследования природных объектов.

http://www.strf.ru/innovation.aspx?…

Платформа НАНОФАБ 100

НАНОФАБ 100 является модульной технологической платформой для формирования нанотехнологических комплексов (НТК) с кластерной компоновкой, включающих технологические установки с возможностями групповых и нанолокальных методов обработки подложек диаметром до 100 мм. При формировании НТК кластеры связываются в технологические цепочки через модули межоперационной передачи и складирования образцов. Это позволяет на основе платформы НАНОФАБ 100 создавать Нанофабрики для создания полнофункциональных наноструктур, наноустройств и наносистем на их основе.