Сайт о нанотехнологиях #1 в РоссииНК: Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие
Друзья, с момента основания проекта прошло уже 20 лет и мы рады сообщать вам, что сайт, наконец, переехали на новую платформу.
Какое-то время продолжим трудится на общее благо по адресу
На новой платформе мы уделили особое внимание удобству поиска материалов.
Особенно рекомендуем познакомиться с работой рубрикатора.
Спасибо, ждём вас на N-N-N.ru
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие
.
Авторы: Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И.
Тип: учебное пособие
Предмет: нанотехнологии
Класс: ВУЗ , Специалисту
Серия: Нанотехнологии
Издательство: БИНОМ. Лаборатория знаний
Год издания: 2010
Формат: 60×90/16 (в пер.)
Страниц: 283
ISBN: 978–5–9963–0032–7
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем.
- Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
Цена: 275.00
- nikst's блог
- Войдите на сайт для отправки комментариев
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем.