Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учебное пособие для вузов. Т. 1

.

Автор(ы): Чистяков Ю. Д., Райнова Ю. П. / под общ. ред. Коркишко Ю. Н.

Тип: учебное пособие

Предмет: нанотехнологии

Класс: ВУЗ , Специалисту

Издательство: БИНОМ. Лаборатория знаний

Год издания: 2010

Формат: 60×90/16 (в пер.)

Страниц: 392

ISBN: 978–5–9963–0335–9

• Изложены физико-химические основы технологии микроэлектроники. Дана классификация технологических процессов. Сформулированы критерии, определяющие характер их протекания и качество изделий. Особое внимание уделено процессам эпитаксии, получения тонких пленок, сварки и пайки, механической обработки, очистки поверхности материалов, а также легирования, модифицирования и фотолитографии.

Рассмотрены механизмы воздействия электрических полей и излучений на некоторые из этих процессов. Разделение книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, при этом каждый из томов может представлять вполне самостоятельный интерес.

• Для студентов, изучающих технологию микроэлектроники и радиотехнических микроэлектронных устройств, аспирантов и специалистов.

Цена: 300.00

http://www.lbz.ru/…ralnyh-mikro

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учебное пособие для вузов. Т. 2

.

Автор(ы): Акуленок М. В., Андреев В. М. и др. / под общ. ред. Коркишко Ю. Н.

Тип: учебное издание

Предмет: нанотехнологии

Класс: ВУЗ , Специалисту

Серия: Нанотехнологии

Издательство: БИНОМ. Лаборатория знаний

Год издания: 2011

Формат: 60×90/16 (в пер.)

Страниц: 252

ISBN: 978–5–9963–0336–6

• Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне cамостоятельный интерес. Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и «сухого» травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона для интегральных технологий микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники, микросистемной техники.

Рассматриваются эпитаксиальные процессы, процессы вакуум-термического и ионно-плазменного осаждения, ионного, ионно-химического и плазмохимического травления, термического окисления, методы легирования термической диффузией и ионной имплантацией, а также процессы фотолитографии.

• Для студентов и аспирантов высших учебных заведений, специализирующихся в области микро- и наноэлектроники, микроэлектромеханических систем, физики твердого тела, материаловедения. Книга может быть полезна инженерно-техническим работникам соответствующих областей.

Цена: 253.00

http://www.lbz.ru/…h-mikro-1788