РОСНАНО инвестирует в безмасочную литографию с разрешением до 10 нм

Друзья, с момента основания проекта прошло уже 20 лет и мы рады сообщать вам, что сайт, наконец, переехали на новую платформу.

Какое-то время продолжим трудится на общее благо по адресу https://n-n-n.ru.
На новой платформе мы уделили особое внимание удобству поиска материалов.
Особенно рекомендуем познакомиться с работой рубрикатора.

Спасибо, ждём вас на N-N-N.ru

РОСНАНО инвестирует в безмасочную литографию с разрешением до 10 нм

РОСНАНО и MAPPER Lithography, голландская компания-разработчик систем безмасочной литографии, объявляют о начале инвестиций в производство инновационного литографического оборудования. Общая сумма сделки составляет €80 млн, доля РОСНАНО — €40 млн. Такую же сумму вкладывают акционеры MAPPER, — инвестиционные компании ADP Industries, Parcom Capital (Parc-IT) и Hoving & Partners, технологические компании Technolution и DEMCON, ряд частных инвесторов и семейных инвестиционных фондов, а также Агентство Нидерландов при министерстве экономики, сельского хозяйства и инноваций. Существенная часть инвестиций РОСНАНО будет направлена на создание в России производства ключевого компонента литографических систем MAPPER

  • Компания MAPPER Lithography, основанная в Делфтском техническом университете, разрабатывает литографическое оборудование нового поколения на основе технологии множественных электронных лучей (multiple e-beam), позволяющей обойтись без дорогостоящих литографических масок. Технология MAPPER сочетает ранее практически недостижимую разрешающую способность (22 нм и выше) с высокой производительностью, позволяя обрабатывать до 100 кремниевых подложек в час.

Инвестиции позволят компании MAPPER выпустить несколько поколений оборудования Matrix. Модель Matrix 1.1, намеченная к выпуску в 2012 году, использует более 1300 электронных лучей и обрабатывает одну подложку в час. Модель Matrix 10.1, использующая 13 260 электронных лучей, обладает производительностью 10 подложек в час. Кластерная система Matrix 10.10, состоящая из десяти установок Matrix 10.1, способна обрабатывать 100 подложек в час, что соответствует требованиям массового производства микросхем. В рамках инвестиционного проекта производственные мощности MAPPER будут расширены до 20 литографических машин в год.

  • В России планируется создать предприятие по выпуску электронной оптики на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС) — ключевого компонента оборудования MAPPER. Производство требует использования уникальных технологий в области МЭМС. Мощность российского предприятия составит до 20 систем электронной оптики в год, каждая из которых способна управлять 13 260 параллельными электронными лучами. Проект ориентирован на сотрудничество с ведущими российскими профильными исследовательскими институтами.

«Поддержка, которую мы получили в этом раунде финансирования, отражает наши успехи в инновационной технологии электронно-лучевой литографии, которую мы развивали последние десять лет. Сегодня мы готовы представить наш продукт на рынок, и гордимся, что РОСНАНО решила поддержать этот масштабный проект», — отметил CEO и сооснователь компании MAPPER Берт Ян Камфербеек.

«Проект с MAPPER Lithography занимает особое место в портфеле РОСНАНО. Разработки компании находятся в самом начале цепочки создания стоимости в микроэлектронике. Мы уверены, что инвестиции в эту компанию укрепят синергию микроэлектронных проектов РОСНАНО», — подчеркнул управляющий директор РОСНАНО Дмитрий Лисенков.

Для продвижения безмасочной литографии на базе платформы MAPPER развернута международная производственно-исследовательская программа IMAGINE, которую координирует ведущий мировой институт по прикладным исследованиям в микроэлектронике CEA-Leti. Основными участниками являются крупные производители микроэлектроники — TSMC (Тайвань) и STMicroelectronics (Франция). В середине 2009 года в чистых комнатах CEA-Leti был установлен промышленный прототип установки MAPPER.

  • В начале 2012 года в рамках программы IMAGINE компания MAPPER достигла размерности элементов 22 нм, что соответствует следующим технологическим стандартам в микроэлектронике — 14 нм и 10 нм. В этом году CEA-Leti и MAPPER объявили о продлении программы IMAGINE на три года. В течение этого времени в CEA-Leti будет установлено опытное оборудование Matrix, на котором ведущие мировые производители микроэлектроники смогут опробовать безмасочную технологию в реальной производственной обстановке.

http://www.youtube.com/watch?…!

Технология MAPPER. Создание чипа на кремниевой подложке в безмасочной литографии можно сравнить с формированием картинки на экране электронно-лучевой телевизионной трубки. Картинка формируется когда луч, который быстро обегает телевизионный экран, попадает на светящееся вещество — люминофор. В оборудовании MAPPER вместо видимой картинки электронный луч оставляет следы в фоточувствительном слое на поверхности кремниевой подложки

http://www.rusnano.com/…x/Show/34490



nikst аватар

РОСНАНО и MAPPER Lithography, голландская компания-разработчик систем безмасочной литографии, объявляют о начале инвестиций в производство инновационного литографического оборудования. Общая сумма сделки составляет €80 млн, доля РОСНАНО — €40 млн. Такую же сумму вкладывают акционеры MAPPER, — инвестиционные компании ADP Industries, Parcom Capital (Parc-IT) и Hoving & Partners, технологические компании Technolution и DEMCON, ряд частных инвесторов и семейных инвестиционных фондов, а также Агентство Нидерландов при министерстве экономики, сельского хозяйства и инноваций. Существенная часть инвестиций РОСНАНО будет направлена на создание в России производства ключевого компонента литографических систем MAPPER.

  • Выглядит очень заманчиво… Прогресс неостановим. Но надо, надо, надо… Надо навёрстывать и догонять. Ещё Владимир Ильич в таких случаях говаривал: «За невежество нужно платить золотом»…

Наверняка ребята свсё тщательно просчитали и тогда уже заключили эту сделку.

  • Наши поздравления и пожелания новых достижений!..
nikst аватар

Ведомости: РОСНАНО пошла по стопам Intel

  • Сегодня РОСНАНО объявит об участии в раунде инвестиций в нидерландского разработчика оборудования для производства микросхем Mapper Lithography общим объемом 80 млн евро, рассказали «Ведомостям» представители обеих компаний. РОСНАНО вкладывает 40 млн евро, еще столько же — существующие акционеры Mapper: инвесткомпании ADP Industries, Parcom Capital и Hoving & Partners, технологические компании Technolution и DEMCON, частные инвесторы и фонды, а также агентство Нидерландов при минэкономики этой страны. Значительная часть инвестиций РОСНАНО пойдет на создание в России производства электронной оптики на основе микроэлектромеханических систем — ключевых компонентов, которые использует оборудование Mapper.

Несколько десятилетий микропроцессоры выпускались по технологии фотолитографии: на кремниевую подложку наносится слой чувствительного к свету материала-фоторезиста, потом через фотошаблон-маску на него подают свет и удаляют засвеченный фоторезист с помощью химикатов.

  • Однако минимальные размеры элемента на микросхеме, соответствующие половине длины волны светового излучения, все время уменьшались и уже приблизились к границе между светом и рентгеновским излучением. У рентгеновского же излучения свойства другие: оно хуже отражается и вдобавок проходит сквозь вещество, так что обычные технологии фотолитографии применить намного сложнее.

Сейчас есть всего две перспективные технологии литографии: одну разрабатывает лидер рынка ASML, другую — Mapper, объясняет старший инвестиционный менеджер РОСНАНО Василий Костяновский. ASML привлекла инвестиции только что: в июле 2012 г. 15% ее акций приобрела за $3,1 млрд Intel, плюс еще $1 млрд вложила в ее программу НИОКР.

  • Недавно ASML объявила о переносе запуска серийного производства на 2016 г., а это дает шансы конкурирующей технологии, говорит Костяновский. По его словам, Mapper нужны деньги, чтобы создать промышленное оборудование. Гендиректор и один из основателей Mapper — Берт Ян Камфербеек уточняет: первое производство на базе ее технологии планируется открыть в 2014 г.

В литографии и раньше существовало несколько конкурирующих технологий и успех одной не означает провала другой, рассуждает руководитель подразделения «Ситроникс микроэлектроника» Геннадий Красников. Но Mapper найдет свою нишу на рынке, так что инвестиции РОСНАНО перспективные, уверен он.

Роман Дорохов

Источник: Ведомости, 23.08.2012

http://www.rusnano.com/…x/Show/34494