Компания АИСТ-НТ представляет новую технологию «MagicScan», являющую собой совокупность программных и аппаратных средств и методов управления сканером и процессом сканирования. Данные методы позволяют исключать различные динамические ошибки в процессе сканирования, такие как перерегулирование, паразитные колебания и фазовая задержка.

Основной особенностью технологии «MagicScan» является отсутствие или малый уровень искажений изображения при изменении скорости сканирования в широком диапазоне значений.

Использование технологии «MagicScan» совместно с уникальным пьезосканером СЗМ «SmartSPM», дает возможность получать выдающиеся результаты по соотношению качество / время получения изображения. Уникальность нашего сканера заключается в том, что он обладает самыми высокими на сегодняшний день резонансными частотами среди сканеров коммерческих СЗМ с большими диапазонами перемещения по осям X,Y и Z (100×100×15 мкм, до 7 кГц по XY & 15 кГц по Z).

Для демонстрации нашей технологии мы выбрали образец со сложной топографией. Образец представляет собой кремниевую тестовую решетку с шагом 3 мкм и высотой 25 нм. Сканирование такого рода образцов является довольно сложной задачей, что объясняется рядом причин. Это, во-первых, наличие нескольких или многих (на больших полях сканирования) резких ступенек вдоль линии сканирования. Во-вторых, поверхность данного образца достаточно гладкая, что дает возможность четко определять искажения на изображении при динамических ошибках в процессе сканирования. Кроме того, сканирование маленьких ступенек (несколько нанометров) чередующихся с большими (25 нм) показывает отсутствие потери разрешения при увеличении скорости.

Мы использовали полуконтактный режим АСМ с жестким зондом (резонансная частота около 500 кГц) на площадях сканирования 12х12 мкм и 30х30 мкм с разрешением 300х300 и 400х400 точек в плоскости XY.

Смотрите видео-ролики на Youtube:

• Демонстрация технологии на 12 мкм скане

• Демонстрация технологии на 30 мкм скане

На представленных роликах при сканировании площади 12х12 мкм скорость увеличивалась с 3 до 30 линий в секунду, а при сканировании площади 30х30 мкм – с 2 до 20 линий/сек.

Текущая скорость сканирования показана рядом с полем «rate» в окне сканирования (мы используем алгоритм развертки, учитывающий ошибку обратной связи по Z, поэтому реальная скорость немного отличается от заданного значения). В нижнем правом углу вы можете наблюдать сигнал датчика положения сканера по оси X. Частота изменения данного сигнала равна скорости сканирования.