СПбГУ приобрел систему литографии для единственного в России ионного микроскопа «Орион», который установлен в Междисциплинарном ресурсном центре по направлению «Нанотехнологии» (МРЦ-НТ) СПбГУ. Стоимость приобретенного оборудования – 2,2 млн рублей.

Литография – это метод получения рисунка на тонкой плёнке материала, который широко используется в микро- и наноэлектронике. Без литографии, например, не могла быть выполнена работа, которая послужила основой для присуждения последней Нобелевской премии по физике. Таким образом, ученые Университета получают новое уникальное в России средство для создания наноструктур.

Ионный микроскоп «Орион», имеющийся в МРЦ, представляет новый этап в развитии сканирующей микроскопии: он характеризуется рекордным для растровых микроскопов субнанометровым разрешением. В изначальной комплектации «Орион» предназначен только для получения изображений исследуемых объектов. Однако использование ионного луча позволяет выполнять и литографические задачи, например, выращивать металлические нанообъекты. «Такие процессы нужны для создания модельных микро- и наноструктур, которые используются для проведения исследований, а также могут служить прототипами для будущих устройств, например, полевых транзисторов, сенсоров и т.п.», – объясняет директор Междисциплинарного ресурсного центра по направлению «Нанотехнологии» СПбГУ, доктор физико-математических наук Олег Вывенко. Приобретенная система литографии для ионного микроскопа позволит проводить указанные процессы с рекордным субнанометровым (предел 5 нм) разрешением. Для сравнения: современные процессоры имеют размер элементов 30–40 нм.

Поскольку ионный микроскоп МРЦ является единственным в России, использование новой системы обеспечит приоритет ученых СПбГУ в искусственном создании новых наноструктур и их исследованиях.

Напомним, нанотехнологии являются одним из приоритетных направлений развития СПбГУ. Из 300 млн рублей, выделяемых по программе развития Университета в этом году, около половины направлено на приобретение оборудования по направлению «Нанотехнологии и материаловедение» для дооснащения МРЦ-НТ по запросам пользователей – ученых и студентов 5 факультетов (физического, химического, биолого-почвенного, геологического, математико-механического, ПМ-ПУ). В процессе работы МРЦ-НТ СПбГУ, который был открыт около полутора лет назад, выяснилось, что закупленное в 2007 году оборудование не в состоянии обеспечить все запросы при том разнообразии объектов, которые изучаются в СПбГУ, и теперь возможности для проведения научных работ будут существенно расширены. Нынешнее приобретение – система литографии для ионного микроскопа «Орион» – это первая из серии покупок. Также среди закупаемого оборудования – два дополнительных растровых электронных микроскопа (РЭМ), которые сократят очередь на РЭМ исследования; дополнительный комплект средств пробоподготовки (как выразился один из классиков электронной микроскопии Герес Томас, директор Национального Центра Электронной Микроскопии США: «У нас хорошие микроскопы – проблема только в хороших образцах!»), который сделает возможными исследования в том числе «мягких» нанобъектов. Все это оборудование СПбГУ получит в течение декабря.