В НИ ИрГТУ в марте откроется лаборатория по анализу кремниевых структур. Начальник отдела лазерной физики и нанотехнологий ФТИ Николай Иванов сообщил, что основное оборудование для создания лаборатории — масс-спектрометр Agilent 7700s — приобретено за счет софинансирования правительством Иркутской области.

«Программа развития НИУ предусматривает поддержку со стороны Иркутской области до 2019 года. Ежегодное софинансирование программы составляет 10 млн. рублей. В 2010 году эти средства были направлены на создание лаборатории зондовой микроскопии. В этом году в рамках программы планируется открытие лаборатории испытания строительных материалов. Софинансирование со стороны правительства указывает на то, что областные власти поддерживают развитие вуза, помогают расширению его материальной базы», — заявил Н. Иванов.

«В России сейчас восстанавливается производство кремниевых материалов для солнечной энергетики (солнечный кремний) и кремния для производства микросхем полупроводникового качества, — подчеркнул Н. Иванов актуальность создания лаборатории по анализу кремниевых структур. — Производство этих материалов организовано и в Иркутской области. Сейчас на предприятии ООО «Усолье — Сибирский Силикон» выпускается поликристаллический кремний солнечного качества. По мере отработки технологии будет производиться и полупроводниковый кремний, который необходим для выпуска отечественных микросхем и других полупроводниковых компонентов. С нашей стороны мы сможем обеспечить анализ кремния на содержание примесей. Это необходимо, в первую очередь, для отладки технологии производства».

При полной комплектации лаборатории появится возможность заключать договоры с различными предприятиями страны по аналитике, проведению научных исследований по отработке технологии очистки кремния.

«К 2014 году мы планируем приобрести приборы для контроля электрофизических свойств кремния, поставить методику инфракрасной Фурье-спектрометрии для измерения концентрации ряда примесей и ростовую установку для получения кремния полупроводникового качества. Общая стоимость оборудования лаборатории может составить несколько десятков миллионов рублей» — говорит Н. Иванов.

По информации научного руководителя лаборатории Николая Астраханцева, в настоящее время лаборатория оснащена на сумму более 13 млн. рублей. Кроме масс-спектрометра с индуктивно-связанной плазмой Agilent 7700s, это ещё и оборудование для пробоподготовки: получения деионизованной воды, дистилляции кислот и микроволнового разложения проб, которые необходимы для проведения анализа.

Он подчеркнул, что существующие в Иркутской области масс-спектрометры не позволяют проводить рутинные анализы сверхнизких концентраций примесей в полупроводниковых материалах.

«При помощи нашего масс-спектрометра можно получать более точные данные в самом широком диапазоне концентраций для различных типов матриц, при этом существенно упрощая разработку методов и повседневную работу. В то же время он сохраняет эффективность и гибкость, необходимые для передовых исследований. За счет этого прибора можно значительно удешевить и ускорить проведение анализа. Наиболее затратной статьей при эксплуатации является инертный газ и калибровочные эталоны. Прибор работает на особо чистом аргоне. Стоимость одного баллона аргона составляет около восьми тысяч рублей, его хватает только на восемь часов непрерывной работы», — поясняет Н. Астраханцев.

В перспективе на базе лаборатории планируется создание независимого центра, который сможет производить точную оценку качества кремния, осуществлять арбитраж, чтобы решать споры между производителем и потребителем в случае обнаружения брака.