Финский центр технологических исследований VTT разработал чрезвычайно эффективный и малогабаритный источник энергии — микросуперконденсатор, который можно интегрировать непосредственно в микросхему. Эта технология открывает новые перспективы для встраиваемого мобильного оборудования и автономных сенсорных сетей Интернета Вещей (IoT).

Высокие энергоёмкость и мощность достигаются благодаря новому электродному наноматериалу, недавно созданному специалистами VTT. Гибридный электрод состоит из пористого кремния, на который методом осаждения атомных слоев (Atomic Layer Deposition, ALD) наносится слой нитрида титана толщиной несколько нанометров. Изготовленный таким образом электрод имеет рекордно большую площадь проводящей поверхности, что определяет рабочие характеристики суперконденсатора.

Ввод ионной жидкости в микроканалы, сформированные между двумя гибридными электродами, дает необычно миниатюрный и источник электроэнергии, впервые способный конкурировать по емкости, мощности и циклической стойкости с лучшими известными устройствами на базе углерода и графена.

В статье для журнала Nano Energy, VTT продемонстрировал такой суперконденсатор, встроенный в чип площадью один квадратный сантиметр. Это устройство способно накапливать до 0,2 Дж энергии и обеспечивает мощность до 2 Вт. В то же время, поверхность чипа остаётся свободна для размещения активных интегрированных схем и сенсоров.

VTT в настоящее время ведёт поиск партнёров, заинтересованных в коммерциализации этой технологии.