В лаборатории нанодиагностики и нанолитографии, у истоков которой стоит академик Александр Леонидович Асеев, исследуют атомные процессы на поверхности и в объеме кристаллов, атомное строение наноструктур с помощью высокоразрешающей просвечивающей электронной микроскопии, развивают методы наноструктурирования поверхности с помощью электронной, ионной- и зондовой литографии для изготовления твердотельных наносистем из полупроводниковых, металлических и органических материалов.

Сегодня дело ученого продолжают молодые специалисты, которые поделились результатами своих исследований и продемонстрировали передовые технологии.

Лаборатория располагается в здании термостатированного корпуса ИФП СО РАН. Его построили одним из первых в 70-х годах ХХ века. По словам заведующего лабораторией Дмитрия Щеглова, после строительства корпус считался шедевром инженерной инфраструктуры. Он напоминает матрешку — здание в здании, которое сконструировано так, чтобы на внутреннем уровне всегда поддерживались постоянная температура 18 градусов Цельсия и особые условия чистоты атмосферы от пылинок.

«При строительстве была установлена сложная система вентиляции. К сожалению, с 70-х годов нормы чистоты атмосферы для полупроводниковых технологий изменились и здание стало устаревать. Чтобы соблюдать необходимые условия, мы создаем следующий уровень — так называемые «чистые комнаты»», — рассказал «Научной России» Дмитрий Щеглов.

Молодой кандидат наук Сергей Васильевич Ситников демонстрирует атомную DAS-модель поверхности кремния / Николай Малахин / Научная Россия

Атомная DAS-модель поверхности кремния / Николай Малахин / Научная Россия

Атомная DAS-модель поверхности кремния / Николай Малахин / Научная Россия

Александр Леонидович Асеев — один из основателей направления исследований элементарных структурных процессов в объеме полупроводников. Сегодня сотрудники лаборатории уже работают на предельном уровне технологий — атомарном, пытаясь найти способы воздействия на атомы кристалла, с тем, чтобы полупроводники были более функциональными. Его последователь — нынешний директор Института физики полупроводников Александр Васильевич Латышев сфокусировался на изучении свойств поверхностей полупроводников, где совершил ряд фундаментальных открытий в области процессов самоорганизации атомов.