Евразийская патентная организация ЕАПО выдала патент на изобретение СГТУ имени Гагарина Ю. А. на разработку сотрудников лаборатории «Сенсоров и микросистем» кафедры «Физика» Физико-технического института Алексея Варежникова и Виктора Сысоева. Учёные СГТУ выполняли разработку совместно со специалистами Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета «ЛЭТИ» имени В.И. Ульянова (Ленина).

Изобретение относится к области сенсорной техники и нанотехнологий, в частности к разработке мультисенсорных линеек хеморезистивного типа, выполненных в интегральной форме на подложке-чипе и предназначенных для селективного детектирования газов в системах газового анализа.

Авторами предложен способ изготовления таких чипов на основе иерархических наноструктур оксида цинка, формируемых гидротермальным синтезом из раствора, содержащего катионы цинка, гидроксогруппы и поверхностно-активные вещества, на диэлектрическую подложку, оборудованную набором компланарных полосковых электродов.

Способ позволяет изготовить с низкой себестоимостью газоаналитический мультисенсорный чип, функционирующий при температурах 200–350 градусов Цельсия, способный генерировать селективный сигнал, в частности, к летучим органическим парам.