На предстоящей конференции SEMICON WEST, организуемой в июле с.г., сотрудники компании SEMATECH¹ доложат подробности о продвижении инициатив, связанных с кремниевыми подложками диаметром 450 мм и с усовершенствованием и стандартизацией процессов на 300-мм подложках (300 mm Next Generation Factory, NGF) [1].

Возможно, наиболее удивителен прогресс 450-мм подложек – компания ISMI уже получила для проведения испытаний 100 поликристаллических кремниевых 450-мм подложек от изготовителей и к концу года ожидает получить монокристаллические образцы. Директор ISMI, Scott Kramer, подчеркивает, что ISMI будет придерживаться нейтральной позиции в развернувшейся войне между компаниями, стремящимися освоить 450 мм «на полном ходу», и компаниями, считающими, что более продуктивно совершентсвовать производство на 300-мм подложках.

Крамер заявил: “Мы не будем устанавливать никаких графиков. Наша позиция – собрать все данные и представить их игрокам на полупроводниковом рынке для принятия решения. Мы лишь соберем данные, проведем испытания и будем влиять на утверждение стандартов». На предстоящей конференции Крамер представит данные истытания захват и устройство для переноса 450-мм подложек различной толщины – возможный компромиссный стандарт, который будет утвержден – 925 мкм (см. рис. 1). Первые 450-мм подложки поставила Japan's Nippon Mining & Metals Co. Ltd., но Крамер утверждает, что есть и другие поставщики [2]. Компания сотрудничает уже с более чем 20 поставщиками материалов, приспособлений и различного оборудования.

Рис. Держатель 450-мм подложек проходит испытания на точность позиционирования в Межсетевом Испытательном стенде (Interoperability Test Bed (ITB), Austin, Техас). Захват поставила компания Brooks Automation Inc., а устройство для транспортировки пластин – Entegris Inc.

Производство ИС на 450-мм подложках? Все же никогда! Таков вердикт консалтинговой компании Wright Williams & Kelly, Inc. (WWK), которая провела опрос среди 3000 респондентов из 20 ведущих полупроводниковых производителей чипов, материалов и оборудования. Среди ответов были и более оптимистичные – производство на 450-мм подложках возможно, но не ранее 2015 г. [3].

¹SEMATECH (SEmiconductor MAnufacturing TECHnology) – некоммерческий консорциум, который выполняет фундаментальные исследования в области полупроводникового производства. Консорциум был основан в 1987 г. по соглашению между правительством и четырнадцатью ведущими полупроводниковыми производителями США для решения общих производственных задач, в частности, именно этот консорциум разрабатывает так называемые Дорожные карты для полупроводникового производства. С 2004 г. SEMATECH работает как международная организация и имеет три дочерних компании – Advanced Technology Development Facility (ATDF), Advanced Materials Research Center (AMRC) и International Sematech Manufacturing Initiative (ISMI).

С.Т.К.