Специалисты из Национального Института Стандартов и Технологий США (NIST) разработали производственный процесс, позволяющий формировать трехмерные наноструктуры, заполненные магнитными материалами.

Открытый учеными технологический процесс позволит создавать новые виды МЭМС-сенсоров и микроэлектронных устройств, использующих магнитные эффекты. К его достоинствам следует отнести простоту и совместимость с современными методами производства микроэлектронных компонентов.

Рис. 1. Трехмерная магнитная наноструктура

В эксперименте ученые использовали усовершенствованную технологию «дамасской металлизации», традиционно использующуюся в создании медных межпроводниковых соединений.

«Дамасская металлизация» как раз позволяет плотно заполнять пространство между медными зубьями основной наноструктуры шириной 160 нанометров магнитным сплавом никеля. При заполнении использовался метод электронанесения магнитных материалов.

Полученные в результате высококачественные индукторы и актюаторы, созданные на основе магнитных наноструктур будут широко использоваться в микроэлектронных устройствах, лабораториях-на-чипе и наносенсорах.

Свидиненко Юрий